Form

Hochpräzise Rundheitsmessungen werden mit einem Gerät mit ölhydrostatisch gelagerter Spindel durchgeführt. Der geringe Rauschanteil und die ausgezeichnete Reproduzierbarkeit der Messspindel ermöglichen die Anwendung eines Fehlertrennverfahrens, womit die Rundlauffehler der Spindel von den Rundheitsabweichungen des zu messenden Prüfobjektes getrennt werden können. Dadurch lassen sich bei der Kalibrierung von Kugelnormalen Messunsicherheiten von kleiner als 10 nm realisieren.

Zur Kalibrierung von zylindrischen Lehren, Prüfzylindern und Geradheitsverkörperungen wie Haarlineale wird eine numerisch gesteuerte Formmessmaschine mit Luftlagerspindel und einer 500 mm langen vertikalen Führung verwendet.

Die Kalibrierung von Geradheitsverkörperungen wie Stahl- oder Hartgesteinslinealen oder Hartgesteins-Winkelnormalen erfolgt mit Hilfe eines Präzisions-Luftlagerschlittens. Die verbleibenden Geradheitsabweichungen des Schlittens werden in regelmässigen Abständen auf Umschlag kalibriert und in einem Korrekturdatenfile abgelegt. Somit ist es möglich, Messunsicherheiten für Geradheitsabweichungen in der Grössenordnung von 0.1 µm bei einem Messbereich von 800 mm zu erreichen.

Zur Kalibrierung von Plangläsern steht ein Fizeau-Interferometer mit Phasenschiebe-Messung und videoelektronischer Verarbeitung der Interferenzstreifenbilder zur Verfügung. Die Ebenheitsabweichung der Referenzplatte wurde mit einem Fehlertrennverfahren im Vergleich mit zwei weiteren Plangläsern ermittelt (Drei-Platten-Methode).