Mikroteile

Die aus der Uhrenindustrie hervorgegangenen Technologiezweige Mikromechanik, Mikrooptik und Mikrosystemtechnik sind für die Schweizer Industrie zu Schlüsseltechnologien geworden. Entsprechend dieser Entwicklung ist der Bedarf an dimensioneller Charakterisierung von Miniaturkomponenten gestiegen.

Koordinatenmessgeräte erfassen die dreidimensionale Geometrie von Werkstücken und sind somit die vielseitigsten Werkzeuge der Längenmesstechnik. Herkömmliche Geräte verwenden jedoch relativ grosse Antastelemente und sind daher für Mikroteile ungeeignet.

Um die Vorteile der Koordinatenmesstechnik auch für Mikroteile nutzen zu können, hat sich METAS für eine Neuentwicklung entschieden.

Mikro-Koordinatenmessgerät

	Das ultrapräzise Koordinatenmessgerät für Mikroteile basiert auf zwei hochwertigen Komponenten: Einerseits auf einem neuen messenden Tastkopf mit sehr kleiner Tastkraft, welchen wir zusammen mit der EPFL und der Firma MECARTEX entwickelt haben, und andererseits auf einem ultrapräzisen 3D Verschiebetisch, der am Zentrum für Produktionstechnologie (CFT) von Philips in Eindhoven im Rahmen einer 4-jährigen Doktorarbeit entstanden ist. Diese Hauptkomponenten wurden am METAS vollständig charakterisiert und mit einer neuen Steuerung ergänzt. Zusammen mit unseren ausgezeichneten Laborbedingungen ergibt sich ein bezüglich Genauigkeit einmaliges Mikro-Koordinatenmessgerät. Messvolumen: 80 mm x 80 mm x 38 mm Messunsicherheit: < 80 nm bidirektional im ganzen Volumen

Weitere Informationen (in Englisch): Das Problem der Tastkräfte [»...] Der neue Tastkopf [»...] Der 3D Verschiebetisch [»...] Eine neue Methode der Tastkugelkalibrierung [»...] Einige Anwendungsbeispiele [»...]


Kurzfilme: Der Filmbeitrag zum Swiss Technology Award 2005 bietet einen kurzen Überblick. Dauer: 3,5 min, Grösse: 3.8 MB, Format: wmv [»...]
Dieser stumme Film zeigt das Mikrokoordinatenmessgerät beim Freiformscanning mit einer 70 µm Tastkugel an einem 30 µm Schaft. Dauer: 4 min, Grösse: 4.6 MB, Format: wmv [»...]

MetInfo-Artikel: Ultrapräzises Koordinatenmessgerät für Mikroteile, metINFO 3/2005. [»...] Tastsinn von Koordinatenmessmaschinen verfeinert, metINFO 1/2003. [»...]