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Interferenzmikroskopie

Das Interferenzmikroskop verwendet Weisslicht oder monochromatisches Licht im Phasenverschiebemodus um kleinste Höhenunterschiede von nur 0.1 nm aufzulösen.

Interferenzmikroskopbild

Ebenheit einer Seitenfläche eines Eindringkörpers aus Diamant für die Härtemessung nach Vickers.