Rasterkraftmikroskopie

Rasterkraftmikroskope tasten eine Oberfläche mit einer sehr feinen Spitze ab (AFM = Atomic Force Microscope). Die dabei gewonnenen Koordinaten ermöglichen es, die Oberfläche dreidimensional abzubilden. Die höchsten realisierten Auflösungen erlauben sogar einzelne Atome zu "sehen".

Metrologie-Rasterkraftmikroskop

METAS hat einen kommerziellen Metrologie-Rasterkraftmikroskop-Kopf mit einer Linearverschiebeeinheit und einem hochauflösenden Laserinterferometer kombiniert, um diverse Normale für die Mikroskopie zu kalibrieren.

Der Messplatz erlaubt Strukturabstände bis 400 µm und Strukturhöhen bis 5 µm zu bestimmen und kann auch zur Charakterisierung der Form von Mikroobjekten eingesetzt werden. Typische Beispiele dafür sind Radien von Diamanttastspitzen für Tastschnittgeräte oder die Firstkantenlänge von Diamanteindringkörpern für die Härtemessung.

Holographisches Mikroskopienormal

Holographisches 2D Gitter von Moxtek mit Strukturabständen von 700 µm x 700 µm.